ટેફલોન કોટેડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર - સંવેદનશીલ વેફર હેન્ડલિંગ માટે નોન-સ્ટીક સપાટી

સેન્ટ સેરાનો ટેફલોન (PTFE) કોટેડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર ઉચ્ચ-શક્તિવાળા એલ્યુમિના સબસ્ટ્રેટને એક સમાન, ઓછી ઘર્ષણવાળી PTFE કોટિંગ (જાડાઈ 15–30 μm) સાથે જોડે છે. આ કોટિંગ ઘર્ષણનો અત્યંત ઓછો ગુણાંક (≤0.1), ઉત્તમ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને નોન-સ્ટીક ગુણધર્મો પ્રદાન કરે છે, જે વેફર સંલગ્નતાને અટકાવે છે અને પાછળના દૂષણને દૂર કરે છે. અંતર્ગત સિરામિક સબસ્ટ્રેટ (99.8% Al₂O₃) ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361–1000 MPa), ઘસારો પ્રતિકાર અને 260°C (કોટિંગ મર્યાદા) સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. આ એન્ડ ઇફેક્ટર નાજુક, પાતળા અથવા ચીકણા વેફર (દા.ત., ફોટોરેઝિસ્ટ કોટિંગ અથવા રાસાયણિક પ્રક્રિયાઓ પછી) ને હેન્ડલ કરવા માટે આદર્શ છે.

વિશિષ્ટતાઓ (PTFE કોટિંગ સાથે 99.8% Al₂O₃ સબસ્ટ્રેટ પર આધારિત):

નોંધ: PTFE કોટિંગ મહત્તમ તાપમાન 260°C સુધી મર્યાદિત કરે છે; ઉચ્ચ તાપમાનના ઉપયોગ માટે, અનકોટેડ સિરામિક અથવા અન્ય કોટિંગનો વિચાર કરો.

અરજીઓ:

• · ફોટોરેઝિસ્ટ કોટિંગ પછી વેફર્સને હેન્ડલ કરવું (ચીકણી સપાટીઓ)
• · પાતળા અથવા નાજુક વેફરનું સ્થાનાંતરણ (ચોંટતા અટકાવે છે)
• · સેમિકન્ડક્ટર નિરીક્ષણ અને મેટ્રોલોજી સાધનો
• · સ્વચ્છ ખંડ ઓટોમેશન જ્યાં કણોનું દૂષણ ઓછું કરવું જોઈએ

ઉત્પાદન પ્રક્રિયા:

સિરામિક સબસ્ટ્રેટ સિન્ટર્ડ અને ચોકસાઇ ગ્રાઉન્ડ → સપાટી રફનિંગ (પ્લાઝ્મા ઇચ અથવા ગ્રિટ બ્લાસ્ટ) → PTFE સ્પ્રે કોટિંગ → 380°C પર હીટ ક્યોરિંગ → અંતિમ નિરીક્ષણ. દરેક એન્ડ ઇફેક્ટરને કોટિંગની જાડાઈ (એડી કરંટ), સંલગ્નતા (ક્રોસ-કટ ટેસ્ટ ASTM D3359), અને ઘર્ષણ ગુણાંક માટે તપાસવામાં આવે છે.

ગુણવત્તા નિયંત્રણ:

પિનહોલ્સ અથવા બબલ્સ માટે 100% દ્રશ્ય નિરીક્ષણ; ±5 μm ની અંદર કોટિંગ જાડાઈ એકરૂપતા; સાક્ષી કૂપન પર 90° બેન્ડ ટેસ્ટ પછી કોઈ ડિલેમિનેશન નહીં. OEM સહિષ્ણુતા માટે પરિમાણીય તપાસ (લંબાઈ ±0.05 મીમી, સપાટતા ≤0.1 મીમી).

અનકોટેડ અથવા અન્ય કોટિંગ્સ કરતાં ફાયદા:

• · નોન-સ્ટીક સપાટી વેફરને સંલગ્નતા અને તૂટતા અટકાવે છે
• · સિરામિક કોટિંગ્સમાં ઘર્ષણનો સૌથી ઓછો ગુણાંક
• · ઉત્તમ રાસાયણિક પ્રતિકાર (એસિડ, બેઝ, સોલવન્ટ)
• · સામગ્રીના સ્થાનાંતરણને અટકાવીને કણોનું ઉત્પાદન ઘટાડે છે

મર્યાદાઓ (ભૌતિક વિચલન પર ટિપ્પણીઓ):

PTFE કોટિંગ પૂરા પાડવામાં આવેલા મટીરીયલ પ્રોપર્ટી ટેબલ (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) માંથી લેવામાં આવ્યું નથી. સબસ્ટ્રેટ પ્રોપર્ટીઝ પૂરી પાડવામાં આવેલ ડેટાશીટ (99.8% Al₂O₃) નું સખતપણે પાલન કરે છે. કોટિંગ પ્રોપર્ટીઝ ઉદ્યોગ-માનક PTFE સ્પષ્ટીકરણો પર આધારિત છે, કારણ કે કોઈ કોટિંગ ડેટા પ્રદાન કરવામાં આવ્યો નથી. 260°C થી વધુ તાપમાનવાળા એપ્લિકેશનો માટે, અનકોટેડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટરની ભલામણ કરવામાં આવે છે.*

કસ્ટમાઇઝેશન:

૧૫૦-૧૫૦૦ મીમી લંબાઈ, ટીપ આકાર (એજ ગ્રિપ, બર્નૌલી, ફ્લેટ), OEM ડ્રોઇંગ દીઠ માઉન્ટિંગ ફ્લેંજ પેટર્નમાં ઉપલબ્ધ છે. આંશિક કોટિંગ (ફક્ત સંપર્ક વિસ્તારો) અથવા સંપૂર્ણ કવરેજ વૈકલ્પિક.

સંલગ્નતા અને ઘર્ષણ પરીક્ષણ માટે નમૂનાની વિનંતી કરો.