પ્રિસિઝન ડાઇસિંગ અને ગ્રાઇન્ડીંગ માટે એલ્યુમિના વેક્યુમ ચક

સેન્ટ.સેરાનું એલ્યુમિના વેક્યુમ ચક 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા Al₂O₃ થી ચોકસાઇ-મશીનવાળા વેક્યુમ ગ્રુવ્સ સાથે બનાવવામાં આવે છે. અમારી ચોકસાઇ ગ્રાઇન્ડીંગ ક્ષમતા 0.003mm ની સપાટતા અને 0.002mm ની સમાંતરતા પ્રાપ્ત કરે છે, જે ડાયસિંગ, બેકસાઇડ ગ્રાઇન્ડીંગ અને નિરીક્ષણ દરમિયાન વાર્પ-મુક્ત વેફર ફિક્સેશન સુનિશ્ચિત કરે છે. આ સામગ્રી ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361 MPa), કઠિનતા (16 GPa) અને 800°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. 600mm બાહ્ય વ્યાસ (OD) સુધીના ગોળાકાર ફોર્મેટમાં અને 1500mm લંબાઈ સુધીના લંબચોરસ આકારમાં ઉપલબ્ધ છે. ચોક્કસ પ્રક્રિયા આવશ્યકતાઓને અનુરૂપ વેક્યુમ ગ્રુવ્સ કસ્ટમ-ડિઝાઇન (કેન્દ્રિત, રેડિયલ અથવા ગ્રીડ પેટર્ન) છે. દરેક ચકનું લેસર ઇન્ટરફેરોમીટરથી નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે અને ફ્લેટનેસ ચકાસણી રિપોર્ટ આપવામાં આવે છે.

સ્પષ્ટીકરણો (99.8% Al પર આધારિત)₂O₃અને સેન્ટ સેરા ઉત્પાદન ક્ષમતાઓ):

અરજીઓ:

• · વેફર ડાઇસિંગ અને સ્ક્રિબિંગ (200 મીમી/300 મીમી અને તેનાથી મોટું)
• · પાતળા વેફરનું પાછળનું પીસવું
• · ઓપ્ટિકલ નિરીક્ષણ અને ચકાસણી
• · મોટા સબસ્ટ્રેટ હેન્ડલિંગ

ઉત્પાદન ચોકસાઇ:

• · સીધીતા: 0.005 મીમી
• · લંબ: 0.005 મીમી
• · ગોળાકારતા: 0.002 મીમી
• · એકાગ્રતા: 0.01 મીમી