સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર - ઉચ્ચ-તાપમાન વેફર હેન્ડલિંગ માટે ઉચ્ચ કઠિનતા
સેન્ટ.સેરાનું SiC સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર S1111 બેચ મટિરિયલનો ઉપયોગ કરીને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC સામગ્રી 99.72%, મુક્ત Si 0.05%) માંથી બનાવવામાં આવે છે. તે અસાધારણ યાંત્રિક ગુણધર્મો પ્રદાન કરે છે: ફ્લેક્સરલ તાકાત 449 MPa (માપાયેલ), સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ 457 GPa (માપાયેલ), અને વિકર્સ કઠિનતા 25–28 GPa (લાક્ષણિક). ઓછી ઘનતા (3.10–3.15 g/cm³, લાક્ષણિક) ઉચ્ચ ચોક્કસ કઠિનતા પ્રદાન કરે છે, જે હાઇ-સ્પીડ વેફર ટ્રાન્સફર રોબોટ્સ માટે આદર્શ છે. 120–150 W/m·K (લાક્ષણિક) ની થર્મલ વાહકતા અને 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (લાક્ષણિક) ના થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક સાથે, આ એન્ડ ઇફેક્ટર અસરકારક રીતે ગરમીને દૂર કરે છે અને ઉચ્ચ-તાપમાન હેન્ડલિંગ દરમિયાન પરિમાણીય સ્થિરતા જાળવી રાખે છે (1600–1700°C સુધી, કોઈ ભાર નથી). કાળો/ગ્રે રંગ અને શૂન્ય પાણી શોષણ સ્વચ્છ રૂમ સુસંગતતા સુનિશ્ચિત કરે છે.
વિશિષ્ટતાઓ(પૂરા પાડવામાં આવેલ SiC S1111 પરીક્ષણ રિપોર્ટ અને લાક્ષણિક મૂલ્યો પર આધારિત)):
| મિલકત | કિંમત |
| સામગ્રી | SiC (99.72% SiC, 0.05% મફત Si) |
| રંગ | કાળો/ગ્રે |
| ઘનતા | ૩.૧૦–૩.૧૫ ગ્રામ/સેમી³ |
| પાણી શોષણ | 0% |
| ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ | ૪૪૯ MPa (સરેરાશ) |
| ફ્રેક્ચર કઠિનતા | ૩.૧૨ MPa·m¹/² (સરેરાશ) |
| સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ | ૪૫૭ જીપીએ |
| વિકર્સ કઠિનતા | ૨૫-૨૮ જીપીએ |
| થર્મલ વાહકતા (25°C) | ૧૨૦–૧૫૦ વોટ/મીટર·કે |
| સીટીઇ (25–1000°C) | ૪.૦–૪.૫×૧૦⁻⁶/℃ |
| મહત્તમ ઉપયોગ તાપમાન (લોડ વગર) | ૧૬૦૦–૧૭૦૦°સે |
અરજીઓ:
● ઉચ્ચ-તાપમાન વેફર હેન્ડલિંગ (પોસ્ટ-એનિયલ, RTP, એપિટાક્સી)
● પ્લાઝ્મા ઇચ ચેમ્બર જેને ઉચ્ચ ધોવાણ પ્રતિકારની જરૂર હોય છે
● હાઇ-સ્પીડ ટ્રાન્સફર રોબોટ્સ (હળવા, ઉચ્ચ કઠોરતા)
ઉત્પાદન:
SiC પાવડર સિન્ટરિંગ → આર્મ પ્રોફાઇલ અને માઉન્ટિંગ સુવિધાઓનું ચોકસાઇ CNC ગ્રાઇન્ડીંગ → સપાટી લેપિંગ → અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈ. વેક્યુમ એપ્લિકેશન માટે 100% પરિમાણીય નિરીક્ષણ અને હિલીયમ લીક પરીક્ષણ.
ગુણવત્તા નિયંત્રણ:
● લંબાઈ, પહોળાઈ અને સપાટતાનું CMM નિરીક્ષણ
● બેચ દીઠ ફ્લેક્સરલ તાકાત પરીક્ષણ (પરીક્ષણ રિપોર્ટ ધોરણ દીઠ)
● સપાટી ખામીઓ માટે માઇક્રોસ્કોપ હેઠળ દ્રશ્ય નિરીક્ષણ
એલ્યુમિના અથવા ધાતુ કરતાં ફાયદા:
● 2× વધુ સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ (એલ્યુમિના માટે ~380 GPa વિરુદ્ધ 457) - ઓછું વિચલન
● 3× વધુ થર્મલ વાહકતા - ઝડપી ગરમીનું વિસર્જન
● હવામાં એલ્યુમિનાના 800°C કરતા >1600°C સુધી ટકી રહે છે
● સ્ટીલ કરતાં ઓછી ઘનતા - 40% વજન ઘટાડો
કસ્ટમાઇઝેશન:
લંબાઈ ૧૫૦–૪૫૦ મીમી, ટોચના આકાર (એજ ગ્રિપ, બર્નૌલી, ફ્લેટ), OEM ડ્રોઇંગ દીઠ માઉન્ટિંગ ફ્લેંજ પેટર્ન.
*ઉપરનો બધો યાંત્રિક ડેટા પૂરા પાડવામાં આવેલ પરીક્ષણ અહેવાલ (બેચ S1111) માંથી લેવામાં આવ્યો છે. આ SiC ગ્રેડ માટે થર્મલ અને કઠિનતા મૂલ્યો લાક્ષણિક છે; લોટ-વિશિષ્ટ પ્રમાણપત્ર માટે કૃપા કરીને અમારો સંપર્ક કરો.*
