CVD / PVD પ્રોસેસ ચેમ્બર ઉત્પાદકો અને સપ્લાયર્સ માટે કસ્ટમ હાઇ-પ્યુરિટી એલ્યુમિના સિરામિક રિંગ

CVD / PVD પ્રોસેસ ચેમ્બર માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક રિંગ ફીચર્ડ છબી

સીવીડી / પીવીડી પ્રોસેસ ચેમ્બર માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક રિંગ

ટૂંકું વર્ણન:

સેન્ટ સેરાની સિરામિક રિંગ ખાસ કરીને CVD (કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન) અને PVD (ફિઝિકલ વેપર ડિપોઝિશન) પ્રોસેસ ચેમ્બરમાં ઉપયોગ માટે ડિઝાઇન કરવામાં આવી છે. 99.8% હાઇ-પ્યુરિટી એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી ઉત્પાદિત, આ રિંગ પ્લાઝ્માને મર્યાદિત કરવા અને ચેમ્બરની દિવાલોને ધોવાણથી બચાવવા માટે ચેમ્બર લાઇનર, ફોકસ રિંગ અથવા પ્રોસેસ કીટ ઘટક તરીકે કામ કરે છે. આ સામગ્રી ઉત્તમ પ્લાઝ્મા પ્રતિકાર, ઉચ્ચ ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ (15×10⁶ V/m), અને 1600°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે, જે આક્રમક ફ્લોરિન-આધારિત પ્લાઝ્મા વાતાવરણમાં લાંબા સેવા જીવનની ખાતરી કરે છે. ચોક્કસ પરિમાણીય સહિષ્ણુતા (ID/OD પર ±0.05 mm) અને સપાટતા (≤10 μm) સુસંગત વેફર એજ પોઝિશનિંગને સક્ષમ કરે છે, ડિપોઝિશન એકરૂપતામાં સુધારો કરે છે અને કણોનું ઉત્પાદન ઘટાડે છે.

અમને ઇમેઇલ મોકલો

ઉત્પાદન વિગતો

ઉત્પાદન ટૅગ્સ

સ્પષ્ટીકરણો (99.8% Al₂O₃ પર આધારિત):

મિલકત	કિંમત
સામગ્રી	૯૯.૮% એલ્યુમિના (હાથીદાંત)
ઘનતા	૩.૯૩ ગ્રામ/સેમી³
પાણી શોષણ	0%
ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ	૩૬૧ એમપીએ
ફ્રેક્ચર કઠિનતા	૩–૪ MPa·m¹/²
વિકર્સ કઠિનતા	૧૬ જીપીએ
યંગ્સ મોડ્યુલસ	૩૮૦ જીપીએ
થર્મલ વાહકતા	૩૨ વોટ/મીકે
થર્મલ વિસ્તરણ (25–1000°C)	૭.૨×૧૦⁻⁶/℃
ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ	૧૫×૧૦⁶ વી/મી
ચોક્કસ પ્રતિકાર	>૧૦¹⁴ Ω·સેમી
મહત્તમ સંચાલન તાપમાન	૧૬૦૦°સે

અરજીઓ:

· સીવીડી ચેમ્બર ફોકસ રિંગ્સ અને એજ રિંગ્સ
· પીવીડી ચેમ્બર શિલ્ડ રિંગ્સ અને ક્લેમ્પ રિંગ્સ
· એચ ચેમ્બર લાઇનર્સ અને કવર રિંગ્સ
· ડાઇલેક્ટ્રિક એચ સિસ્ટમમાં પ્લાઝ્મા કન્ફાઇનમેન્ટ રિંગ્સ

ઉત્પાદન પ્રક્રિયા:

આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ → ગ્રીન મશીનિંગ → 1600°C પર સિન્ટરિંગ → CNC ID/OD ગ્રાઇન્ડીંગ → સપાટી લેપિંગ → અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈ → 100% CMM નિરીક્ષણ. અતિ-સરળ સપાટી પૂર્ણાહુતિ (Ra ≤0.4 μm) કણોના સંલગ્નતાને ઘટાડે છે.

ગુણવત્તા નિયંત્રણ:

· ૧૦૦% પરિમાણીય તપાસ (ID, OD, જાડાઈ, સપાટતા)
સપાટીના સૂક્ષ્મ તિરાડો માટે ડાય પેનિટ્રન્ટ નિરીક્ષણ
ASTM D149 દીઠ ડાઇલેક્ટ્રિક તાકાત પરીક્ષણ
· 20× માઇક્રોસ્કોપ હેઠળ કોઈ દૃશ્યમાન વિકૃતિકરણ અથવા છિદ્રાળુતા નહીં

મેટલ અથવા ક્વાર્ટઝ રિંગ્સ કરતાં ફાયદા:

· ફ્લોરિન પ્લાઝ્મામાં એલ્યુમિનિયમ રિંગ્સ કરતાં 5-10× લાંબુ આયુષ્ય
· પાતળા પડદામાં ધાતુનું દૂષણ નથી
· ક્વાર્ટઝ કરતાં વધુ પ્લાઝ્મા પ્રતિકાર (કોઈ ધોવાણ ખાડા નથી)
· લાંબા ગાળાના ઉપયોગ પછી પણ 10¹⁴ Ω·cm થી વધુના વિદ્યુત ઇન્સ્યુલેશનને જાળવી રાખે છે

વૈકલ્પિક સામગ્રી — સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ (Si₃N₄):

વધુ ફ્રેક્ચર કઠિનતા (6.2 MPa·m¹/²) અને વધુ સારા થર્મલ શોક પ્રતિકાર (વિસ્તરણ ગુણાંક 3.2×10⁻⁶/℃) ની જરૂર હોય તેવા એપ્લિકેશનો માટે, Si₃N₄ રિંગ્સ ઉપલબ્ધ છે. જોકે, મોટાભાગના CVD/PVD એપ્લિકેશનો માટે એલ્યુમિના વધુ ખર્ચ-અસરકારક છે. ઓર્ડર આપતી વખતે કૃપા કરીને સામગ્રીની પસંદગીનો ઉલ્લેખ કરો.

કસ્ટમાઇઝેશન: