પેજ_બેનર

ઇન્ટિગ્રેટેડ વેક્યુમ ચેનલો સાથે એલ્યુમિના સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર

ઇન્ટિગ્રેટેડ વેક્યુમ ચેનલો સાથે એલ્યુમિના સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર

ટૂંકું વર્ણન:

સેન્ટ.સેરાનું એલ્યુમિના વેક્યુમ એન્ડ ઇફેક્ટર ચોકસાઇ-મશીનવાળા વેક્યુમ ચેનલો અને સક્શન છિદ્રોને સીધા 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના બોડીમાં એકીકૃત કરે છે. આ ડિઝાઇન બાહ્ય વેક્યુમ પેડ્સને દૂર કરે છે, જે એકસમાન હોલ્ડિંગ ફોર્સ સાથે સીધા વેફર પિકઅપને સક્ષમ કરે છે. સામગ્રીની ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361 MPa) અને કઠિનતા (16 GPa) પુનરાવર્તિત વેક્યુમ ચક્ર હેઠળ લાંબા ગાળાની પરિમાણીય સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે. પેડ વિસ્તારમાં સપાટતા 10 μm ની અંદર જાળવવામાં આવે છે, જે વેફર તણાવ અને તૂટફૂટને અટકાવે છે. OEM રોબોટ આર્મ્સ સાથે સરળ એકીકરણ માટે વેક્યુમ પોર્ટ પાછળના માઉન્ટિંગ ફ્લેંજ પર સ્થિત છે.


ઉત્પાદન વિગતો

ઉત્પાદન ટૅગ્સ

સેન્ટ.સેરાનું એલ્યુમિના વેક્યુમ એન્ડ ઇફેક્ટર ચોકસાઇ-મશીનવાળા વેક્યુમ ચેનલો અને સક્શન છિદ્રોને સીધા 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના બોડીમાં એકીકૃત કરે છે. આ ડિઝાઇન બાહ્ય વેક્યુમ પેડ્સને દૂર કરે છે, જે એકસમાન હોલ્ડિંગ ફોર્સ સાથે સીધા વેફર પિકઅપને સક્ષમ કરે છે. સામગ્રીની ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361 MPa) અને કઠિનતા (16 GPa) પુનરાવર્તિત વેક્યુમ ચક્ર હેઠળ લાંબા ગાળાની પરિમાણીય સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે. પેડ વિસ્તારમાં સપાટતા 10 μm ની અંદર જાળવવામાં આવે છે, જે વેફર તણાવ અને તૂટફૂટને અટકાવે છે. OEM રોબોટ આર્મ્સ સાથે સરળ એકીકરણ માટે વેક્યુમ પોર્ટ પાછળના માઉન્ટિંગ ફ્લેંજ પર સ્થિત છે.

 

વિશિષ્ટતાઓ(99.8% Al₂O₃ પર આધારિત):

મિલકત કિંમત
સામગ્રી ૯૯.૮% એલ્યુમિના (હાથીદાંત)
ઘનતા ૩.૯૩ ગ્રામ/સેમી³
ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ ૩૬૧ એમપીએ
વિકર્સ કઠિનતા ૧૬ જીપીએ
યંગ્સ મોડ્યુલસ ૩૮૦ જીપીએ
થર્મલ વિસ્તરણ ૭.૨×૧૦⁻⁶/℃
પેડ સપાટતા ≤૧૦ માઇક્રોન
વેક્યુમ ચેનલ પહોળાઈ ૦.૫–૨.૦ મીમી
મહત્તમ ઓપરેટિંગ તાપમાન ૮૦૦°સે

 

અરજીઓ:

● પાતળા અથવા વિકૃત વેફરનું વેક્યુમ પિકઅપ

● ધાર પકડ્યા વિના સીધી વેફર હેન્ડલિંગ

● સૌર કોષ અને LED સબસ્ટ્રેટ ટ્રાન્સફર

 

ઉત્પાદન:

સિન્ટર્ડ એલ્યુમિના બ્લેન્ક → વેક્યુમ ચેનલો અને છિદ્રોનું 5-અક્ષ CNC ડ્રિલિંગ → સપાટી લેપિંગ → અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈ → હિલીયમ લીક ટેસ્ટ. દરેક ઇફેક્ટર વેક્યુમ એકરૂપતા માટે 100% ફ્લો-ટેસ્ટ થયેલ છે.

 

ફાયદા:

● કોઈ બાહ્ય વેક્યુમ પેડ નથી (કણોના સ્ત્રોત ઘટાડે છે)

● એકસમાન હોલ્ડિંગ પ્રેશર વેફર માર્કિંગને અટકાવે છે

● રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય અને સ્વચ્છ રૂમ સુસંગત


  • પાછલું:
  • આગળ: