સ્ટેટિક-સેન્સિટિવ વેફર હેન્ડલિંગ માટે ESD-સેફ એલ્યુમિના સિરામિક ભાગો
સેન્ટ સેરાના ESD (ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ડિસ્ચાર્જ) સુરક્ષિત એલ્યુમિના સિરામિક ભાગો 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા Al₂O₃ થી બનાવવામાં આવે છે જેમાં 10⁶–10⁹ Ω/ચોરસ મીટરની સપાટી પ્રતિકારકતા હોય છે, જે માલિકીની ડોપિંગ અથવા કોટિંગ પ્રક્રિયા દ્વારા પ્રાપ્ત થાય છે. આ ભાગો અસરકારક રીતે સ્ટેટિક ચાર્જને દૂર કરે છે, સંવેદનશીલ સેમિકન્ડક્ટર વેફર્સ અને ઉપકરણોને ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક નુકસાન અટકાવે છે. બેઝ મટિરિયલ તેની ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361 MPa), કઠિનતા (16 GPa), અને ડાઇલેક્ટ્રિક તાકાત (15×10⁶ V/m) જાળવી રાખે છે. ESD-સુરક્ષિત સિરામિક ભાગોમાં એન્ડ ઇફેક્ટર્સ, લિફ્ટ પિન, ગાઇડ રેલ્સ અને FAB ઓટોમેશન માટે કસ્ટમ ફિક્સરનો સમાવેશ થાય છે.
વિશિષ્ટતાઓ(ESD સારવાર સાથે 99.8% Al₂O₃ પર આધારિત):
| મિલકત | કિંમત |
| પાયાની સામગ્રી | ૯૯.૮% એલ્યુમિના |
| સપાટી પ્રતિકારકતા (ESD) | ૧૦⁶–૧૦⁹ Ω/ચોરસ મીટર |
| ઘનતા | ૩.૯૩ ગ્રામ/સેમી³ |
| ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ | ૩૬૧ એમપીએ |
| વિકર્સ કઠિનતા | ૧૬ જીપીએ |
| યંગ્સ મોડ્યુલસ | ૩૮૦ જીપીએ |
| થર્મલ વિસ્તરણ (25-1000°C) | ૭.૨×૧૦⁻⁶/℃ |
| મહત્તમ ઓપરેટિંગ તાપમાન | ૮૦૦°સે |
| ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ (જથ્થાબંધ) | ૧૫×૧૦⁶ વી/મી |
નોંધ: પૂરા પાડવામાં આવેલ સામગ્રી ગુણધર્મ કોષ્ટકોમાં ESD સપાટી પ્રતિકારકતા આપવામાં આવી નથી. ઉપરોક્ત શ્રેણી ડિસિપેટિવ સિરામિક્સ માટે ઉદ્યોગ માનક છે. પરીક્ષણ અહેવાલો માટે કૃપા કરીને અમારો સંપર્ક કરો.
અરજીઓ:
● વેફર ટ્રાન્સફર માટે ESD-સલામત એન્ડ ઇફેક્ટર્સ
● FAB સાધનોમાં ગ્રાઉન્ડિંગ પિન અને ESD ફિક્સર
● સ્ટેટિક-સેન્સિટિવ ડિવાઇસ માટે ટેસ્ટ સોકેટ્સ
● સ્વચ્છ રૂમ ટૂલિંગ જ્યાં સ્થિર નિયંત્રણ મહત્વપૂર્ણ છે
ઉત્પાદન અને ગુણવત્તા:
સ્ટાન્ડર્ડ એલ્યુમિના પ્રોસેસિંગ + ESD સપાટી સારવાર → ANSI/ESD STM11.11 મુજબ માપવામાં આવતી સપાટી પ્રતિકારકતા. દરેક ભાગનું 100% કોન્સેન્ટ્રિક રિંગ ઇલેક્ટ્રોડ સાથે પરીક્ષણ કરવામાં આવે છે.
ફાયદા:
● ESD-સંબંધિત ઉપજ નુકશાન અટકાવે છે
● સિરામિકની યાંત્રિક શક્તિ અને રાસાયણિક પ્રતિકાર જાળવી રાખે છે
● સ્થિર સ્રાવમાંથી કોઈ કણ ઉત્પન્ન થતું નથી
