ઉચ્ચ-તાપમાન ચેમ્બર સીલિંગ માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક સીલ રિંગ
સેન્ટ.સેરાની સિરામિક સીલ રિંગ પોલિમર ઓ-રિંગ્સના વિકલ્પ તરીકે ડિઝાઇન કરવામાં આવી છે જે આત્યંતિક વાતાવરણમાં ઇલાસ્ટોમર્સનો નાશ કરે છે. 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી ઉત્પાદિત, આ કઠોર સીલ રિંગનો ઉપયોગ સ્ટેટિક સીલિંગ એપ્લિકેશન્સમાં થાય છે - સામાન્ય રીતે સોફ્ટ મેટલ અથવા ગ્રેફાઇટ ગાસ્કેટ સાથે જોડી બનાવીને - 800°C સુધીના તાપમાને અને આક્રમક પ્લાઝ્મા અથવા રાસાયણિક વાતાવરણમાં વિશ્વસનીય વેક્યુમ અથવા ગેસ કન્ટેઈનમેન્ટ પ્રદાન કરવા માટે. આ સામગ્રી શૂન્ય આઉટગેસિંગ, ઉચ્ચ સંકુચિત શક્તિ (અંતર્ગત ફ્લેક્સરલ શક્તિ 361 MPa), અને રાસાયણિક જડતા (HF સિવાય હેલોજન, એસિડ અને આલ્કલીસ માટે પ્રતિરોધક) પ્રદાન કરે છે. ચોકસાઇ-લેપ્ડ સીલિંગ સપાટીઓ (સપાટતા ≤5 μm, સપાટીની ખરબચડી Ra ≤0.2 μm) સમાગમ ધાતુ અથવા સિરામિક ઘટકો સાથે લીક-ટાઇટ સંપર્ક સુનિશ્ચિત કરે છે.
વિશિષ્ટતાઓ(૯૯.૮% Al પર આધારિત)₂O₃):
| મિલકત | કિંમત |
| સામગ્રી | ૯૯.૮% એલ્યુમિના (હાથીદાંત) |
| ઘનતા | ૩.૯૩ ગ્રામ/સેમી³ |
| પાણી શોષણ | 0% |
| ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ | ૩૬૧ એમપીએ |
| સંકુચિત શક્તિ (અંદાજિત) | >2000 MPa |
| વિકર્સ કઠિનતા | ૧૬ જીપીએ |
| થર્મલ વિસ્તરણ (25–1000°C) | ૭.૨×૧૦⁻⁶/℃ |
| મહત્તમ સંચાલન તાપમાન | ૮૦૦°C (હવા), ૧૬૦૦°C (નિષ્ક્રિય) |
| સરફેસ ફિનિશ (સીલિંગ ફેસ) | રા ≤0.2 μm (લેપ્ડ) |
| સપાટતા (પ્રતિ 25 મીમી) | ≤5 μm |
| હિલીયમ લીક દર | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (યોગ્ય ગાસ્કેટ સાથે) |
અરજીઓ:
- · સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસ ચેમ્બર સ્ટેટિક સીલ (CVD, PVD, ઇચ)
- · ઉચ્ચ-તાપમાન ભઠ્ઠીના દરવાજાના સીલ
- · વેક્યુમ ફીડથ્રુ ફ્લેંજ્સ
- · રાસાયણિક રિએક્ટર જહાજો બંધ કરવા
ઉત્પાદન પ્રક્રિયા:
આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ → 1600°C પર સિન્ટરિંગ → અલ્ટ્રા-ફ્લેટ, સ્મૂધ સીલિંગ ફેસ → એજ ચેમ્ફરિંગ → અલ્ટ્રાસોનિક ક્લિનિંગ પ્રાપ્ત કરવા માટે ચોકસાઇ ડબલ-સાઇડ લેપિંગ. દરેક રિંગ સ્ટાન્ડર્ડ મેટલ ગાસ્કેટ સાથે હિલીયમ લીક ડિટેક્ટર પર 100% લીક-ટેસ્ટ થયેલ છે.
ગુણવત્તા નિયંત્રણ:
- · CMM પરિમાણીય તપાસ (ID, OD, જાડાઈ, સમાંતરતા)
- · રા અને તરંગ માટે સપાટી પ્રોફાઇલમીટર
- · ઓપ્ટિકલ ફ્લેટનો ઉપયોગ કરીને સપાટતા માપન
- · હિલીયમ લીક ટેસ્ટ (બેક-પ્રેશરાઇઝેશન પદ્ધતિ)
પોલિમર ઓ-રિંગ્સ પર ફાયદા:
- · FFKM માટે 800°C વિરુદ્ધ <300°Cનો સામનો કરે છે
- · શૂન્ય ગેસિંગ - શૂન્યાવકાશ વાતાવરણનું કોઈ દૂષણ નહીં
- · બધા પ્લાઝ્મા રસાયણો (ફ્લોરિન, ક્લોરિન, ઓક્સિજન) માટે પ્રતિરોધક
- · કોઈ કમ્પ્રેશન સેટ અથવા કાયમી વિકૃતિ નથી
- · સ્વચ્છ વાતાવરણમાં અમર્યાદિત સેવા જીવન
મર્યાદાઓ (ગંભીર ટિપ્પણીઓ):
- · ઓ-રિંગ નહીં— તે એક કઠોર સિરામિક રિંગ છે જેને સીલ કરવા માટે નરમ ગાસ્કેટ (તાંબુ, એલ્યુમિનિયમ અથવા ગ્રેફાઇટ) ની જરૂર પડે છે.
- · ગતિશીલ ગતિ અથવા મોટા ફ્લેંજ મિસલાઈનમેન્ટને સમાવતું નથી.
- · પોલિમર ઓ-રિંગ્સ કરતાં પ્રારંભિક ખર્ચ વધારે છે, પરંતુ લાંબા સમય સુધી આયુષ્ય માલિકીનો ખર્ચ ઘટાડે છે.
- · બરડ - કાળજીપૂર્વક હેન્ડલ કરો; બિંદુ અસર અથવા વળાંકના તણાવને ટાળો.
નૉૅધ:ઉપરોક્ત ડેટા પૂરા પાડવામાં આવેલ Al₂O₃ ગુણધર્મ કોષ્ટકનું સખતપણે પાલન કરે છે. ઇલાસ્ટોમેરિક સામગ્રી માટે કોઈ ડેટા આપવામાં આવ્યો નથી. આ ઉત્પાદન એક સ્ટેટિક સીલ રિંગ છે, ઇલાસ્ટોમેરિક ઓ-રિંગ નથી. કૃપા કરીને પુષ્ટિ કરો કે આ તમારી અરજીની આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરે છે કે નહીં.
