સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસ ફિક્સ્ચર માટે સિરામિક સપોર્ટિંગ પિન
સેન્ટ સેરાના સિરામિક સપોર્ટિંગ પિન (જેને લિફ્ટ પિન અથવા સપોર્ટ પિન તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે)નો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસ ચેમ્બરમાં હેન્ડલિંગ, હીટિંગ અથવા કૂલિંગ દરમિયાન વેફર્સ અથવા સબસ્ટ્રેટ્સને ઉંચા કરવા માટે થાય છે. 99.8% એલ્યુમિના અથવા સિલિકોન નાઇટ્રાઇડથી ઉત્પાદિત, આ પિન ઉચ્ચ સંકુચિત શક્તિ, થર્મલ સ્થિરતા અને રાસાયણિક પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે. ગોળાર્ધ અથવા સપાટ ટીપ ડિઝાઇન વેફર ખંજવાળને અટકાવે છે.
વિશિષ્ટતાઓ(એલ્યુમિના 99.8%):
| મિલકત | કિંમત |
| સામગ્રી | ૯૯.૮% Al₂O₃ અથવા Si₃N₄ |
| લંબાઈ | ૧૦ - ૧૦૦ મીમી |
| વ્યાસ | ૧ - ૧૦ મીમી |
| ટીપ આકાર | સપાટ, ગોળાર્ધ, અણીદાર |
| સંકુચિત શક્તિ (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| મહત્તમ કાર્યકારી તાપમાન (Al₂O₃) | ૧૬૦૦°સે |
| સપાટી પૂર્ણાહુતિ | લેપ્ડ (Ra ≤0.4 μm) |
| વ્યાસ પર સહનશીલતા | ±0.01 મીમી |
અરજીઓ:
CVD/PVD ચેમ્બરમાં લિફ્ટ પિન
હોટપ્લેટ બેકિંગ માટે સપોર્ટ પિન
પ્રોબ કાર્ડ સપોર્ટ સ્ટ્રક્ચર્સ
ક્વાર્ટઝ ફર્નેસ બોટ સપોર્ટ કરે છે
ઉત્પાદન:
OD નું ચોકસાઇ સેન્ટરલેસ ગ્રાઇન્ડીંગ → ટીપ પ્રોફાઇલનું ડાયમંડ ગ્રાઇન્ડીંગ → અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈ → 100% પરિમાણીય નિરીક્ષણ.
ગુણવત્તા નિયંત્રણ:
લંબાઈ/વ્યાસ માટે CMM, ટોચની ત્રિજ્યા માટે ઓપ્ટિકલ તુલનાત્મક, સંકુચિત શક્તિ ચકાસવા માટે લોડ પરીક્ષણ (લોટ દીઠ રેન્ડમ નમૂના). કોઈ ફેરોમેગ્નેટિક દૂષણ નથી (ચુંબક સાથે ચકાસાયેલ).
મેટલ અથવા ક્વાર્ટઝ પિન કરતાં ફાયદા:
સ્ટેનલેસ સ્ટીલ કરતાં 5 ગણું લાંબુ આયુષ્ય
પ્રક્રિયા ચેમ્બરમાં કોઈ ધાતુનું દૂષણ નથી
ક્વાર્ટઝ કરતાં વધુ તાપમાન ક્ષમતા (૧૬૦૦°C વિરુદ્ધ ૧૧૦૦°C)
નોન-સ્ટીક સપાટી (કણોનું સંલગ્નતા ઘટે છે)
કસ્ટમાઇઝેશન:
બહુવિધ ટિપ પ્રોફાઇલ્સ, થ્રેડેડ બેઝ, અથવા ટેપર્ડ શાફ્ટ.
અમે આત્યંતિક પ્લાઝ્મા વાતાવરણ માટે SiC પિન પણ સપ્લાય કરીએ છીએ.
