સીવીડી/પીવીડી શાવરહેડ માટે એલ્યુમિના ગેસ ડિસ્ટ્રિબ્યુશન પ્લેટ
સેન્ટ સેરાની ગેસ ડિસ્ટ્રિબ્યુશન પ્લેટ (શાવરહેડ) ઉચ્ચ-શુદ્ધતા 99.8% એલ્યુમિના સિરામિકથી ચોકસાઇ-મશિન કરેલી છે. તેમાં માઇક્રો-હોલ્સ (0.3-1.5 મીમી વ્યાસ) ની શ્રેણી છે જે CVD, PVD, અથવા ALD પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન વેફર સપાટી પર સમાન ગેસ પ્રવાહ સુનિશ્ચિત કરે છે. પ્લેટની ઉચ્ચ ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ (>15×10⁶ V/m) અને પ્લાઝ્મા પ્રતિકાર તેને સેમિકન્ડક્ટર પાતળા-ફિલ્મ ડિપોઝિશન માટે આવશ્યક બનાવે છે.
વિશિષ્ટતાઓ:
| મિલકત | કિંમત |
| સામગ્રી | ૯૯.૮% Al₂O₃ અથવા SiC |
| વ્યાસ | ૧૦૦ - ૧૫૦૦ મીમી (ગોળ) અથવા લંબચોરસ |
| જાડાઈ | ૫ - ૨૦ મીમી |
| છિદ્ર વ્યાસ | ૦.૩ - ૧.૫ મીમી |
| છિદ્ર પેટર્ન | કસ્ટમ (ત્રિકોણાકાર, ચોરસ, રેડિયલ) |
| સપાટતા | સંપૂર્ણ વિસ્તાર ઉપર ≤10 μm |
| સપાટીની ખરબચડીતા | રા ≤0.6 μm (ગેસ બાજુ) |
| ખુલ્લા ક્ષેત્રનો ગુણોત્તર | ૫-૧૫% |
અરજીઓ:
PECVD શાવરહેડ પ્લેટ્સ
ALD ગેસ ઇન્જેક્ટર
એચ ચેમ્બર ગેસ વિતરણ પ્લેટો
MOCVD રિએક્ટર ઘટકો
ઉત્પાદન:
એલ્યુમિના સબસ્ટ્રેટ ફ્લેટ લેપ્ડ → ડાયમંડ-કોટેડ ટૂલ્સ સાથે CNC ડ્રિલિંગ (હોલ પોઝિશન ટોલરન્સ ±0.02 મીમી) → ડીબરિંગ → અલ્ટ્રાસોનિક ક્લિનિંગ → ક્લાસ 100 પેકેજિંગ.
ગુણવત્તા નિયંત્રણ:
દરેક પ્લેટનું છિદ્ર કદ (દ્રષ્ટિ પ્રણાલી), સપાટતા (લેસર ઇન્ટરફેરોમીટર), અને ગેસ પ્રવાહ એકરૂપતા (દબાણ મેપિંગ) માટે 100% નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે. 20x માઇક્રોસ્કોપ હેઠળ કોઈ સૂક્ષ્મ તિરાડો નથી.
મેટલ પ્લેટો પર ફાયદા:
પાતળા પડદામાં કોઈ ધાતુનું દૂષણ નથી
કણોનું ઉત્પાદન ઓછું (કાટના ટુકડા નહીં)
આક્રમક સફાઈ પ્લાઝ્મા (CF₄, NF₃) નો સામનો કરે છે.
કસ્ટમ સુવિધાઓ:
બેકસાઇડ ગેસ ચેનલો, કાઉન્ટર-બોર્ડ છિદ્રો, ધાર સીલ અને વિવિધ સામગ્રી ગ્રેડ (ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા માટે SiC, પ્લાઝ્મા પ્રતિકાર માટે Y₂O₃ કોટિંગ).
અમે ઉત્પાદન પહેલાં CAD ચકાસણી અને પ્રવાહ સિમ્યુલેશન પ્રદાન કરીએ છીએ.
