વાર્પ્ડ વેફર હેન્ડલિંગ માટે છિદ્રાળુ સિરામિક વેક્યુમ ચક
સેન્ટ સેરાનું છિદ્રાળુ સિરામિક ચક ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિનાથી બનેલું છે જેમાં 30-45% ની એકસમાન ખુલ્લી છિદ્રાળુતા અને 10 થી 100 μm સુધીના છિદ્ર કદ હોય છે. પરંપરાગત ગ્રુવ્ડ ચકથી વિપરીત, છિદ્રાળુ સપાટી સમગ્ર વેફર બેકસાઇડ પર વિતરિત વેક્યૂમ પ્રદાન કરે છે, જે અસરકારક રીતે વિકૃત, પાતળા અથવા સિંગલેટેડ વેફર્સને ધાર લિફ્ટ-ઓફ અથવા તૂટ્યા વિના પકડી રાખે છે. સૌમ્ય વેક્યૂમ (રિસ્ટ્રિક્ટર દ્વારા એડજસ્ટેબલ) બેકસાઇડ માર્કિંગને પણ અટકાવે છે.
વિશિષ્ટતાઓ(૯૯.૬% Al પર આધારિત)₂O₃):
| મિલકત | કિંમત |
| છિદ્રાળુતા | ૩૦-૪૫% |
| સરેરાશ છિદ્ર કદ | ૧૦–૧૦૦ μm (પસંદ કરી શકાય તેવું) |
| ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ | ≥250 MPa |
| સપાટતા (૩૦૦ મીમીથી વધુ) | ≤5 μm |
| સપાટી પૂર્ણાહુતિ | લેપ્ડ (Ra 0.8 μm) |
| મહત્તમ વેક્યુમ સ્તર | -80 કેપીએ |
| ઓપરેટિંગ તાપમાન | ૪૦૦°C (હવા), ૬૦૦°C (નિષ્ક્રિય) |
| સામગ્રી | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, અથવા SiC |
અરજીઓ:
પાતળું વેફર (≤50 μm) પાછળની બાજુ ગ્રાઇન્ડીંગ
ડાઇસિંગ માટે વાર્પ્ડ વેફર માઉન્ટિંગ
ટેપમાંથી સિંગ્યુલેટેડ ડાઇ પિક-અપ
ગ્લાસ પેનલ હેન્ડલિંગ
ઉત્પાદન અને ગુણવત્તા:
સિરામિક પાવડરને ઓર્ગેનિક પોર ફોર્મર્સ સાથે મિશ્રિત કરવામાં આવે છે → દબાવવામાં આવે છે → સિન્ટર્ડ કરવામાં આવે છે → અંતિમ જાડાઈ સુધી લેપ કરવામાં આવે છે. દરેક ચકનું વેક્યુમ એકરૂપતા (≤5% વિચલન) માટે પ્રવાહ-પરીક્ષણ કરવામાં આવે છે અને પોર કદ વિતરણ (SEM) માટે નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે. લેસર ઇન્ટરફેરોમીટરથી સપાટતા માપવામાં આવે છે.
ગ્રુવ્ડ ચક્સ કરતાં ફાયદા:
કોઈ વેફર એજ માર્કિંગ અથવા ડાઇ શિફ્ટ નહીં
વિકૃત વેફર્સ (500 μm બો સુધી) ધરાવે છે
વેક્યુમ હોલ ક્લોગિંગ દૂર કરે છે
પાતળા સબસ્ટ્રેટ માટે સ્વ-સ્તરીય આધાર
કસ્ટમાઇઝેશન:
ગોળાકાર અથવા લંબચોરસ આકાર, 600 મીમી સુધીનું કદ. અમે ધાર સીલિંગ રિંગ્સ અથવા ઝોન વેક્યુમ પાર્ટીશનો લાગુ કરી શકીએ છીએ. ઉચ્ચ-કઠોરતા આવશ્યકતાઓ માટે મેટલ-બેક્ડ સંસ્કરણો ઉપલબ્ધ છે.
તમારા વેફર કદ અને વોરપેજ પરીક્ષણ માટે નમૂનાની વિનંતી કરો.
