૩૦૦ મીમી વેફર પ્રોસેસિંગ માટે ૧૨-ઇંચ એલ્યુમિના વેક્યુમ ચક

સેન્ટ સેરાનું ૧૨-ઇંચનું વેક્યુમ ચક ૩૦૦ મીમી વેફર હેન્ડલિંગ માટે ૯૯.૮% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી ચોકસાઇ-એન્જિનિયર્ડ છે. ચકમાં બારીક ખાંચવાળી સપાટી (ખાંચની પહોળાઈ ૦.૫–૧.૦ મીમી, પિચ ૨–૩ મીમી) છે જે સમગ્ર ૩૦૦ મીમી વ્યાસમાં એકસમાન વેક્યુમ વિતરણ સુનિશ્ચિત કરે છે. સપાટતા ૫ μm ની અંદર જાળવવામાં આવે છે, જે ડાઇસિંગ, બેકસાઇડ ગ્રાઇન્ડીંગ અને નિરીક્ષણ દરમિયાન વાર્પ-ફ્રી વેફર ફિક્સેશનને સક્ષમ બનાવે છે. સામગ્રીની ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (૩૬૧ MPa) અને કઠિનતા (૧૬ GPa) વારંવાર વેક્યુમ ચક્ર હેઠળ પણ લાંબા ગાળાની પરિમાણીય સ્થિરતાની ખાતરી આપે છે.

વિશિષ્ટતાઓ (૯૯.૮% Al₂O₃ પર આધારિત):

અરજીઓ:

૩૦૦ મીમી વેફર ડાઇસિંગ અને સ્ક્રિબિંગ
વેફર બેકસાઇડ ગ્રાઇન્ડીંગ (પાતળો વેફર સપોર્ટ)
ઓપ્ટિકલ નિરીક્ષણ અને ચકાસણી
કામચલાઉ બંધન/ડિબોન્ડિંગ ચક

ઉત્પાદન:

CNC ગ્રાઉન્ડ અને અંતિમ સપાટતા સુધી લૅપ કરેલ, હીરાના પૈડાથી ગ્રુવ કરેલ, અલ્ટ્રાસોનિકલી સાફ કરેલ, અને વર્ગ 100 ક્લીનરૂમમાં પેક કરેલ. દરેક ચકનું સપાટતા (લેસર ઇન્ટરફેરોમીટર) અને ગ્રુવ ડેપ્થ (પ્રોફાઇલોમીટર) માટે 100% નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે.

ફાયદા:

ઓછી કણોની ઉત્પત્તિ (≤0.05 કણો/સેમી²)

દ્રાવકો અને એસિડ માટે રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય

ESD-સલામત સપાટી (પ્રતિરોધકતા >10¹³ Ω·સેમી)

કસ્ટમ વેક્યુમ હોલ પેટર્ન અને બેકસાઇડ પોર્ટ ઉપલબ્ધ છે.