પાતળા વેફર હેન્ડલિંગ માટે એલ્યુમિના-આધારિત છિદ્રાળુ સિરામિક વેક્યુમ ચક
સેન્ટ સેરાનું એલ્યુમિના-આધારિત છિદ્રાળુ ચક 99.6% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા Al₂O₃ થી બનેલું છે, જેમાં 30-45% ની નિયંત્રિત ખુલ્લી છિદ્રાળુતા અને 10 થી 50 μm સુધીના એકસમાન છિદ્રનું કદ છે. ગ્રુવ્ડ ચકથી વિપરીત, છિદ્રાળુ સપાટી સમગ્ર વેફર બેકસાઇડ પર વિતરિત શૂન્યાવકાશ પ્રદાન કરે છે, ધારના નિશાનને દૂર કરે છે અને અતિ-પાતળા (≤100 μm) અથવા વિકૃત વેફર્સને હળવી પકડી રાખવા સક્ષમ બનાવે છે. આ સામગ્રી ≥250 MPa ની ફ્લેક્સરલ તાકાત અને હવામાં 400°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે.
વિશિષ્ટતાઓ(૯૯.૬% Al પર આધારિત)₂O₃):
| મિલકત | કિંમત |
| સામગ્રી | ૯૯.૬% એલ્યુમિના (સફેદ) |
| છિદ્રાળુતા | ૩૦-૪૫% (એડજસ્ટેબલ) |
| સરેરાશ છિદ્ર કદ | ૧૦–૫૦ માઇક્રોન |
| ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ | ≥250 MPa |
| ઘનતા | ૩.૮૮ ગ્રામ/સેમી³ |
| સપાટતા (200 મીમીથી વધુ) | ≤5 μm |
| મહત્તમ ઓપરેટિંગ તાપમાન | ૪૦૦°C (હવા) |
| સપાટી પૂર્ણાહુતિ | લેપ્ડ (Ra ≤0.8 μm) |
અરજીઓ:
- · પાતળું વેફર (≤50 μm) પાછળની બાજુએ ગ્રાઇન્ડીંગ
- · ડાઇસિંગ માટે વાર્પ્ડ વેફર માઉન્ટિંગ
- · સિંગલ ડાઇ પિક-અપ
- · ગ્લાસ સબસ્ટ્રેટ હેન્ડલિંગ
ઉત્પાદન:
પોર ફોર્મર્સ → આઇસોસ્ટેટિક પ્રેસિંગ → 1600°C પર સિન્ટરિંગ → અંતિમ જાડાઈ સુધી લેપિંગ સાથે મિશ્રિત પાવડર. દરેક ચકનું વેક્યૂમ એકરૂપતા (દબાણ વિચલન <5%) માટે પ્રવાહ-પરીક્ષણ કરવામાં આવે છે અને પોર કદ વિતરણ (SEM) માટે નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે.
પરંપરાગત ચક કરતાં ફાયદા:
- · વેફર બેકસાઇડ માર્કિંગ અથવા ડાઇ શિફ્ટ નહીં
- · ૫૦૦ μm સુધીના બો સાથે વેફર્સ પકડી શકે છે
- · સ્વ-સફાઈ સપાટી (છિદ્રો ભરાઈ જવાનો પ્રતિકાર કરે છે)
- · સમાન સપોર્ટ સ્થાનિક તણાવને દૂર કરે છે
Cકસ્ટમાઇઝેશન:
ગોળ અથવા ચોરસ આકાર, વ્યાસ ૧૦૦-૪૫૦ મીમી. ઝોન કરેલ વેક્યુમ નિયંત્રણ માટે એજ સીલિંગ રિંગ ઉપલબ્ધ છે.
તમારા ચોક્કસ વેફર કદ માટે નમૂનાની વિનંતી કરો.










