બર્નૌલી સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર — પાતળા અને નાજુક વેફર્સ માટે નોન-કોન્ટેક્ટ વેફર હેન્ડલિંગ

સેન્ટ સેરાનું બર્નૌલી સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર ભૌતિક સંપર્ક વિના વેફર્સને હેન્ડલ કરવા માટે એરોડાયનેમિક લિફ્ટનો ઉપયોગ કરે છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા 99.8% એલ્યુમિના (Al₂O₃) અથવા સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) માંથી ઉત્પાદિત, તેમાં ચોકસાઇ-મશીનવાળા નોઝલ છે જે એન્ડ ઇફેક્ટર અને વેફર વચ્ચે પાતળી હવા ફિલ્મ બનાવવા માટે દબાણયુક્ત ગેસને બહાર કાઢે છે. આ બિન-સંપર્ક સિદ્ધાંત પાછળની બાજુના દૂષણ, ધાર ચીપિંગ અને સપાટીને નુકસાનને દૂર કરે છે, જે તેને પાતળા (≤100 μm), નાજુક અથવા વિકૃત વેફર માટે આદર્શ બનાવે છે. સિરામિક સબસ્ટ્રેટ ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (Al₂O₃ માટે 361 MPa; SiC માટે 550-600 MPa સુધી), ઓછું માસ અને ઉત્તમ પરિમાણીય સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે, જે હાઇ-સ્પીડ વેફર ટ્રાન્સફર રોબોટ્સમાં પુનરાવર્તિત સ્થિતિ સુનિશ્ચિત કરે છે.

સામગ્રી પર નોંધ:એલ્યુમિના (Al₂O₃) સેમિકન્ડક્ટર વેફર હેન્ડલિંગમાં સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર્સ માટે સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતી સામગ્રી છે કારણ કે તેની કઠિનતા, વિદ્યુત ઇન્સ્યુલેશન, રાસાયણિક સ્થિરતા અને ખર્ચ-અસરકારકતાના ઉત્તમ સંયોજનને કારણે. સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા, ઉચ્ચ કઠિનતા અને સૌથી વધુ માંગણીવાળા એપ્લિકેશનો માટે વધુ સારી વસ્ત્રો પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે. જ્યારે yttria-સ્થિર ઝિર્કોનિયા (ZrO₂) ઓરડાના તાપમાને ઉચ્ચ ફ્રેક્ચર કઠિનતા પ્રદાન કરે છે, ત્યારે તેની ઉચ્ચ ઘનતા અને વિવિધ થર્મલ વિસ્તરણ લાક્ષણિકતાઓને કારણે આ એપ્લિકેશનમાં તેનો ઉપયોગ ઓછો થાય છે; તે ચોક્કસ પરિસ્થિતિઓ માટે ધ્યાનમાં લઈ શકાય છે જ્યાં અપવાદરૂપ ફ્રેક્ચર કઠિનતા જરૂરી છે. સામગ્રી પસંદગી માર્ગદર્શન માટે કૃપા કરીને અમારી તકનીકી ટીમનો સંપર્ક કરો.

વિશિષ્ટતાઓ(૯૯.૮% Al પર આધારિત)₂O₃):

સંચાલન સિદ્ધાંત:

સંકુચિત હવા અથવા નાઇટ્રોજન (0.2–0.6 MPa) આંતરિક ચેનલો દ્વારા પૂરી પાડવામાં આવે છે અને ચોકસાઇ નોઝલ દ્વારા બહાર નીકળે છે. ઝડપી હવા પ્રવાહ એન્ડ ઇફેક્ટર (બર્નૌલી અસર) ઉપર એક નીચા દબાણનો ઝોન બનાવે છે, જે લિફ્ટિંગ ફોર્સ ઉત્પન્ન કરે છે જે 50–200 μm ના અંતરે વેફરને ટેકો આપે છે. વેક્યુમ છિદ્રો અથવા પેડ્સ વેફરની પાછળના ભાગને સ્પર્શતા નથી.

અરજીઓ:

• · બેકસાઇડ ગ્રાઇન્ડીંગ પછી પાતળું વેફર (≤50 μm) હેન્ડલિંગ
• · વાર્પ્ડ વેફર ટ્રાન્સપોર્ટ (દા.ત., CVD અથવા એનેલીંગ પછી)
• · સોલાર સેલ અને એલઇડી સેફાયર સબસ્ટ્રેટ ટ્રાન્સફર
• · શુન્ય કણ ઉત્પાદનની જરૂર હોય તેવા સ્વચ્છ ખંડ ઓટોમેશન માટે.
• · ડિસ્પ્લે ઉત્પાદનમાં ગ્લાસ પેનલ હેન્ડલિંગ

ઉત્પાદન પ્રક્રિયા:

ઉચ્ચ-શુદ્ધતા પાવડર → ગેસ ચેનલો અને નોઝલ છિદ્રોના 5-અક્ષ CNC મશીનિંગ (વ્યાસ 0.3–1.0 મીમી, સહિષ્ણુતા ±0.01 મીમી) → સપાટીને Ra ≤0.4 μm સુધી લેપિંગ → અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈ → હિલીયમ લીક ટેસ્ટ (ગેસ ચેનલો) થી સિન્ટર્ડ સિરામિક સબસ્ટ્રેટ. કોઈ કોટિંગની જરૂર નથી — ખુલ્લી સિરામિક સપાટી રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય અને બિન-દૂષિત છે.

ગુણવત્તા નિયંત્રણ:

• · નોઝલની સ્થિતિ, હાથની લંબાઈ અને સપાટતાનું 100% પરિમાણીય નિરીક્ષણ (CMM)
• · હવા પ્રવાહ એકરૂપતા પરીક્ષણ: બધા નોઝલ પર દબાણમાં ઘટાડો ≤5%
• · લીક ટેસ્ટ: ગેસ ચેનલો 0.6 MPa પર સીલ કરવામાં આવી, 30 સેકન્ડથી વધુ દબાણમાં ઘટાડો થયો નહીં.
• · સૂક્ષ્મ તિરાડો અથવા બરર્સ માટે 20× માઇક્રોસ્કોપ હેઠળ દ્રશ્ય નિરીક્ષણ

Aપરંપરાગત સંપર્ક અંત અસરકર્તાઓ પર ફાયદા:

• · વેફર બેકસાઇડ દૂષણ શૂન્ય - કોઈ યાંત્રિક સંપર્ક નહીં
• · પાતળા વેફરની ધાર ચીપિંગ કે તૂટવાની કોઈ શક્યતા નથી
• · સ્થિર ગેપ સાથે વિકૃત વેફર્સ (1 મીમી બો સુધી) ને હેન્ડલ કરે છે
• · વેક્યુમ જનરેટર અને છિદ્રાળુ ચક જાળવણી દૂર કરે છે
• · સિરામિક બાંધકામ ઘસારો અને રાસાયણિક હુમલાનો પ્રતિકાર કરે છે

કસ્ટમાઇઝેશન:

• · ૨૦૦ મીમી, ૩૦૦ મીમી, અથવા કસ્ટમ વેફર કદ માટે ઉપલબ્ધ
• · ગેસ નોઝલ પેટર્ન: સીધા, કોણીય, અથવા વમળ પ્રકારો
• · સામગ્રી: એલ્યુમિના (માનક) અથવા સિલિકોન કાર્બાઇડ (સૌથી વધુ થર્મલ વાહકતા અને ઘસારો પ્રતિકાર માટે)
• OEM ડ્રોઇંગ દીઠ હાથની લંબાઈ, માઉન્ટિંગ ફ્લેંજ અને ગેસ પોર્ટ સ્થાન

મર્યાદાઓ:

બર્નૌલી સિદ્ધાંત અમલીકરણ (નોઝલ ડિઝાઇન, એર ગેપ) પ્રદાન કરેલ સામગ્રી ગુણધર્મ કોષ્ટકોના અવકાશની બહાર છે. ઉપરોક્ત યાંત્રિક અને થર્મલ ગુણધર્મો 99.8% Al₂O₃ માટે પૂરા પાડવામાં આવેલ ડેટાશીટ્સનું સખતપણે પાલન કરે છે. આ સામગ્રી ગુણધર્મોના આધારે દબાણયુક્ત ગેસ પ્રવાહ હેઠળ સિરામિકનું કોઈ પ્રદર્શન ઘટાડાનું અપેક્ષિત નથી. ગેસ પ્રવાહ પ્રત્યે સંવેદનશીલ વેફર્સ (દા.ત., નાજુક માળખાવાળા MEMS) માટે, ગેસ દબાણ અને નોઝલ ડિઝાઇનને તે મુજબ ગોઠવવી જોઈએ.