-
વેફર હેન્ડલિંગ માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક રોબોટ આર્મ
સેન્ટ.સેરાનો એલ્યુમિના સિરામિક રોબોટ આર્મ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા Al₂O₃ (એલ્યુમિના) થી ચોકસાઇ-એન્જિનિયર્ડ છે. તે અસાધારણ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361 MPa), ઉચ્ચ કઠિનતા (16 GPa) અને ઓછી ઘનતા (3.93 g/cm³) ને જોડે છે, જેના પરિણામે સેમિકન્ડક્ટર વેફર ટ્રાન્સફર માટે હળવા છતાં કઠોર આર્મ બને છે. સામગ્રીનો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક (7.2×10⁻⁶/°C) સિલિકોન સાથે નજીકથી મેળ ખાય છે, પ્રક્રિયા દરમિયાન થર્મલ મેળ ખાતો નથી.
-
બર્નૌલી સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર — પાતળા અને નાજુક વેફર્સ માટે નોન-કોન્ટેક્ટ વેફર હેન્ડલિંગ
સેન્ટ સેરાનું બર્નૌલી સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર ભૌતિક સંપર્ક વિના વેફર્સને હેન્ડલ કરવા માટે એરોડાયનેમિક લિફ્ટનો ઉપયોગ કરે છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા 99.8% એલ્યુમિના (Al₂O₃) અથવા સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) માંથી ઉત્પાદિત, તેમાં ચોકસાઇ-મશીનવાળા નોઝલ છે જે એન્ડ ઇફેક્ટર અને વેફર વચ્ચે પાતળી હવા ફિલ્મ બનાવવા માટે દબાણયુક્ત ગેસને બહાર કાઢે છે. આ બિન-સંપર્ક સિદ્ધાંત પાછળની બાજુના દૂષણ, ધાર ચીપિંગ અને સપાટીને નુકસાનને દૂર કરે છે, જે તેને પાતળા (≤100 μm), નાજુક અથવા વિકૃત વેફર માટે આદર્શ બનાવે છે. સિરામિક સબસ્ટ્રેટ ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (Al₂O₃ માટે 361 MPa; SiC માટે 550-600 MPa સુધી), ઓછું માસ અને ઉત્તમ પરિમાણીય સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે, જે હાઇ-સ્પીડ વેફર ટ્રાન્સફર રોબોટ્સમાં પુનરાવર્તિત સ્થિતિ સુનિશ્ચિત કરે છે.
-
ટેફલોન કોટેડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર - સંવેદનશીલ વેફર હેન્ડલિંગ માટે નોન-સ્ટીક સપાટી
સેન્ટ સેરાનો ટેફલોન (PTFE) કોટેડ સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર ઉચ્ચ-શક્તિવાળા એલ્યુમિના સબસ્ટ્રેટને એક સમાન, ઓછી ઘર્ષણવાળી PTFE કોટિંગ (જાડાઈ 15–30 μm) સાથે જોડે છે. આ કોટિંગ ઘર્ષણનો અત્યંત ઓછો ગુણાંક (≤0.1), ઉત્તમ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને નોન-સ્ટીક ગુણધર્મો પ્રદાન કરે છે, જે વેફર સંલગ્નતાને અટકાવે છે અને પાછળના દૂષણને દૂર કરે છે. અંતર્ગત સિરામિક સબસ્ટ્રેટ (99.8% Al₂O₃) ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361–1000 MPa), ઘસારો પ્રતિકાર અને 260°C (કોટિંગ મર્યાદા) સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. આ એન્ડ ઇફેક્ટર નાજુક, પાતળા અથવા ચીકણા વેફર (દા.ત., ફોટોરેઝિસ્ટ કોટિંગ અથવા રાસાયણિક પ્રક્રિયાઓ પછી) ને હેન્ડલ કરવા માટે આદર્શ છે.
